Cảm biến áp suất là một loại cảm biến áp suất có thể được sử dụng trong thép, hóa học và các trường khác để đo áp suất và có thể nhận ra kiểm soát áp suất tự động khi được sử dụng cùng với bộ điều chỉnh áp suất.
Khuếch tán cảm biến áp suất silicon /giới thiệu về nguyên tắc
Cảm biến áp suất silicon khuếch tán dựa trên nguyên tắc hiệu ứng piezoresistive, sử dụng công nghệ quá trình tích hợp thông qua doping và khuếch tán, dọc theo hướng tinh thể đặc trưng trên wafer silicon tinh thể đơn Phát hiện chuyển đổi lực và lực-điện được chế tạo.
Áp suất của cảm biến áp suất silicon khuếch tán hoạt động trực tiếp lên cơ hoành của cảm biến (thép không gỉ hoặc gốm), làm cho cơ hoành tạo ra một biến dạng vi mô tỷ lệ thuận với áp suất của môi trường và giá trị điện trở của cảm biến thay đổi. Mạch điện tử phát hiện sự thay đổi này và chuyển đổi nó. Một tín hiệu đo tiêu chuẩn tương ứng với áp suất này là đầu ra.
Các tính năng cảm biến áp suất silicon khuếch tán
1. Thích hợp để tạo ra các máy phát quy mô nhỏ
Hiệu ứng piezoresistive của điện trở nhạy cảm lực của chip silicon không có vùng chết ở phạm vi thấp gần điểm 0 và phạm vi của cảm biến áp suất có thể nhỏ như một số kPa.
2. Độ nhạy đầu ra cao
Hệ số độ nhạy của điện trở biến dạng silicon cao hơn 50 đến 100 lần so với đồng hồ đo biến dạng kim loại, do đó độ nhạy của cảm biến tương ứng rất cao và đầu ra phạm vi chung là khoảng 100mV. Do đó, không có yêu cầu đặc biệt cho mạch giao diện và việc sử dụng thuận tiện hơn.
3. Độ chính xác cao
Vì cảm biến, chuyển đổi nhạy cảm và phát hiện cảm biến được thực hiện bởi cùng một thành phần, không có liên kết chuyển đổi trung gian, và các lỗi lặp lại và trễ là nhỏ. Vì bản thân silicon đơn tinh thể có độ cứng cao và biến dạng nhỏ, tính tuyến tính tốt được đảm bảo.
4 Vì biến dạng đơn tính của công việc thấp như thứ tự của hệ thống vi mô, nên sự dịch chuyển tối đa của chip đàn hồi theo thứ tự phụ micron, do đó không có hao mòn, không mệt mỏi, không lão hóa và tuổi thọ dài như 1 × 107 chu kỳ áp suất, không có hiệu quả cao.
5. Do khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời của silicon, ngay cả các cảm biến áp suất silicon khuếch tán không bị phân tách cũng có khả năng thích nghi với các phương tiện khác nhau ở một mức độ đáng kể.
6. Vì chip áp dụng một quy trình tích hợp và không có các thành phần truyền dẫn, nó có kích thước nhỏ và nhẹ về trọng lượng.
Các biện pháp phòng ngừa cảm biến áp suất silicon khuếch tán để sử dụng
1. Khi chọn quá mức hoặc dưới phạm vi được chọn, biên độ phải được kiểm soát trong phạm vi ± 30%FS.
2. Chế độ áp suất được chia thành áp suất đo, áp suất tuyệt đối và áp suất niêm phong, có thể được chọn hợp lý theo nhu cầu.
3. xác nhận quá tải tối đa của hệ thống. Quá tải tối đa của hệ thống phải nhỏ hơn giới hạn bảo vệ quá tải của cảm biến, nếu không nó sẽ ảnh hưởng đến tuổi thọ dịch vụ của sản phẩm và thậm chí làm hỏng sản phẩm.
4. Không chạm vào cơ hoành với bất kỳ đối tượng cứng nào, nếu không nó sẽ khiến cơ hoành vỡ.
5. Vật liệu và quá trình sản xuất lõi áp suất âm không giống như áp suất dương, do đó lõi áp suất âm không thể được thay thế bằng lõi áp suất đo.
6. Xin vui lòng kiểm tra hướng dẫn hướng dẫn một cách cẩn thận trước khi cài đặt để tránh thiệt hại cho sản phẩm gây ra do cài đặt sai.
7. Sử dụng mô phỏng có thể dẫn đến nguy hiểm và thương tích cá nhân.
8. Lõi được kéo ra khỏi vỏ, và nó bị cấm kéo dây và chân ống.
Ứng dụng cảm biến áp suất silicon khuếch tán
Các cảm biến áp suất silicon khuếch tán chủ yếu được sử dụng trong các hệ thống điều khiển quá trình, dụng cụ hiệu chuẩn áp suất, hệ thống thủy lực, dụng cụ y sinh, hệ thống thủy lực và van, đo mức chất lỏng, thiết bị làm lạnh và các ngành công nghiệp điều khiển HVAC. Có thể nói rằng tất cả các ngành công nghiệp có yêu cầu tự động hóa cao, có thể sử dụng các cảm biến áp suất silicon khuếch tán.
Thời gian đăng: Tháng 8-15-2022