Cảm biến áp suất điện dung

Điện dungCảm biến áp suấtCảm biến áp suất sử dụng điện dung như một yếu tố nhạy để chuyển đổi áp suất đo thành thay đổi giá trị điện dung. Loại cảm biến áp suất này thường sử dụng màng kim loại tròn hoặc màng mạ kim loại như một điện cực của điện cực. Mạch. Cảm biến áp suất tổng hợp thuộc về các cảm biến điện dung biến khoảng khoảng cách phân cực, có thể được chia thành các cảm biến áp suất điện dung đơn và cảm biến áp suất điện dung khác biệt.

Cảm biến áp suất điện dung đơn bao gồm một màng tròn và điện cực cố định. Phim biến dạng dưới áp suất, do đó thay đổi dung lượng của tụ điện, độ nhạy gần tỷ lệ với diện tích và áp suất của màng cố định. là một mặt phẳng căng được cố định xung quanh ngoại vi. Loại này phù hợp để đo áp suất thấp và có khả năng quá tải cao. Cảm biến áp suất đơn để đo áp suất cao cũng có thể được làm bằng cơ hoành bằng cực chuyển động. Nó cũng được đóng gói tích hợp với các phần bù và bảo vệ khác nhau và các mạch khuếch đại để cải thiện khả năng chống cháy. Cảm biến này phù hợp để đo áp suất cao động và từ xa của máy bay. Ngoài ra còn có các loại cảm biến áp suất điện dung đơn như loại micrô (loại micrô tức là loại micrô) và loại ống nghe.

Điện cực cơ hoành lấy áp suất của cảm biến áp suất điện dung khác biệt nằm giữa hai điện cực cố định, tạo thành hai tụ điện. Cơ hoành được bảo vệ chống vỡ bởi bề mặt lõm khi quá tải. Cảm biến áp suất điện dung có độ nhạy cao hơn và tuyến tính tốt hơn so với cảm biến áp suất điện dung đơn, nhưng khó xử lý hơn (đặc biệt là khó khăn để đảm bảo tính đối xứng) và nó không thể đạt được sự phân lập. giới tính hoặc tạp chất trong chất lỏng.